水素終端によるＳｉ単結晶表面の不活性化

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タイトル別名
  • Passivation of Si single-crystal surface by hydrogen termination.
  • スイソ シュウタン ニ ヨル Si タンケッショウ ヒョウメン ノ フカッセイ

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抄録

記事分類: 電気工学--電気材料・部品

収録刊行物

  • 真空

    真空 33 (11), 854-860, 1990

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (4)*注記

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