Vacuum Technology for a Better Global Environment. Turning Point of Semiconductor Technology-50 Years after Transistor Invention. Technological Instabilities on the Semiconductor Roadmap.
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- SAKURAGI Shiro
- Union Materials Inc.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 真空技術と地球環境 半導体技術 ５０年目の曲がり角 ロードマップに見え隠れする足並みの乱れ
- カイセツ ハンドウタイ ギジュツ 50ネンメ ノ マガリカド ロードマップ ニ ミエカクレ スル アシナミ ノ ミダレ
- Technological Instabilities on the Semiconductor Roadmap
- ロードマップに見え隠れする足並みの乱れ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 42 (11), 980-986, 1999
The Vacuum Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204065346304
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- NII Article ID
- 10004568645
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 4921595
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
