IBS法によるTa2O5膜のシリコン上への成膜

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タイトル別名
  • Ta2O5 Thin Films on Si Substrate deposited by IBS.
  • IBSホウ ニ ヨル Ta2O5 マク ノ シリコンジョウ エ ノ セイマク

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収録刊行物

  • 真空

    真空 36 (3), 383-386, 1993

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (2)*注記

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