Polycrystalline Si Thin Film Transistor Fabrication on a Plastic Substrate

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  • 多結晶Ｓｉ薄膜トランジスタ製作へのプラズマ技術の応用　　プラスチック基板上多結晶Ｓｉ薄膜トランジスタの作製
  • カイセツ プラスチック キバン ジョウ タケッショウ Si ハクマク トランジスタ サクセイ

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  • Shinku

    Shinku 44 (6), 567-571, 2001

    The Vacuum Society of Japan

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