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- 小林 明
- 株式会社 神戸製鋼所 電子技術研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- Ion Microbeam System for Surface Analysis
- ヒョウメン ブンセキ ノ タメノ マイクロイオンビーム
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抄録
Rutherford Backscattering spectrometry (RBS) and Particle Induced X-ray Emission (PIXE) are well-known techniques of ion beam analysis using MeV energy ions and they are used for material analysis like semiconductors, environmental analysis. RBS/PIXE systems are often relatively large with high energy accelerators, and are not very convenient for practical purposes.<br> We describe here a new compact RBS/PIXE system with a small accelerator with original ion optics and beam line, which can produce a microprobe with a spot size of about 1 um.<br>
収録刊行物
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- 真空
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真空 50 (9), 558-563, 2007
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204067147776
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- NII論文ID
- 10019835853
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 8976165
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可