ターボ分子ポンプの性能試験方法に関する標準化の現状

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タイトル別名
  • Standardization of Measurement of Performance Characteristics of Vacuum pump
  • ターボ ブンシ ポンプ ノ セイノウ シケン ホウホウ ニ カンスル ヒョウジュンカ ノ ゲンジョウ

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抄録

  Standardization of measurement of performance characteristics of vacuum pump in Japan is described. A draft of the standard was prepared based on the ISO 5302 (Vacuum technology—Turbomolecular pumps—Measurement of performance characteristics).<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 50 (8), 520-523, 2007

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (1)*注記

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