書誌事項
- タイトル別名
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- Standardization of Measurement of Performance Characteristics of Vacuum pump
- ターボ ブンシ ポンプ ノ セイノウ シケン ホウホウ ニ カンスル ヒョウジュンカ ノ ゲンジョウ
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抄録
Standardization of measurement of performance characteristics of vacuum pump in Japan is described. A draft of the standard was prepared based on the ISO 5302 (Vacuum technology—Turbomolecular pumps—Measurement of performance characteristics).<br>
収録刊行物
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- 真空
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真空 50 (8), 520-523, 2007
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204067550976
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- NII論文ID
- 10019750130
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 8940653
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可