-
- 高木 憲一
- 日電アネルパ株式会社
-
- 中川 行人
- 日電アネルパ株式会社
-
- 塚田 勉
- 日電アネルパ株式会社
-
- 金子 英司
- 東洋大学工学部
-
- 岡本 幸雄
- 東洋大学工学部
-
- 青柳 健二
- 山梨大学工学部
-
- 楠 秀樹
- 山梨大学工学部 日立東京エレクトロニクス
-
- 永関 一也
- 山梨大学工学部 東京エレクトロン山梨
-
- 石川 稜威男
- 山梨大学工学部
-
- 斉藤 幸典
- 山梨大学工学部
-
- 菅ノ又 伸治
- 山梨大学工学部
-
- 佐々木 伸也
- 山梨大学工学部
-
- 西村 栄一
- 山梨大学工学部 東京エレクトロン山梨
-
- 辻 博司
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- 富田 哲生
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- 豊田 啓孝
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- 後藤 康仁
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- 石川 順三
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- 松岡 長
- 鳥取大工
-
- 圓山 敬史
- 鳥取大工
-
- 原田 寛治
- 鳥取大工
-
- 岸田 悟
- 鳥取大工
-
- 徳高 平蔵
- 鳥取大工
-
- 藤村 喜久郎
- 鳥取大工
-
- 小柳 剛
- 山口大工
-
- 藤井 隆満
- (株)セントラル硝子
-
- 畠山 雅規
- (株)荏原総合研究所
-
- 一木 克則
- (株)荏原総合研究所
-
- 長濱 一郎太
- 東京大学工学部産業機械工学科
-
- 中尾 政之
- 東京大学工学部産業機械工学科
-
- 畑村 洋太郎
- 東京大学工学部産業機械工学科
-
- 加藤 隆男
- 株式会社荏原総合研究所精密・電子研究所
-
- 田中 秀治
- 東京大学工学部産業機械工学科
-
- 小風 豊
- 東邦大学理学部
-
- 後藤 哲二
- 東邦大学理学部
-
- 高木 祥示
- 東邦大学理学部
-
- 亀山 浩二
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- 島田 茂樹
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- ZHU Changxin
- Tsukuba Institute for Super Materials, ULVAC JAPAN, Ltd.
-
- FUJIWARA Shiro
- ULVAC Corporation
-
- 井谷 誠
- 広島工業大学工学部電子工学科
-
- 田中 武
- 広島工業大学工学部電子工学科
-
- 川畑 敬志
- 広島工業大学工学部電子工学科
-
- 黒河 明
- 電子技術総合研究所
-
- 吉原 一紘
- 金属材料技術研究所
-
- NAKAMURA Ken
- Electrotechnical Laboratory
-
- 一村 信吾
- 電子技術総合研究所
-
- 川田 洋揮
- 株式会社日立製作所機械研究所
-
- REIFF Stefan
- Fritz-Haber Insitiut der Max-Planck-Gesellschaft
-
- BLOCK Joachim H.
- Fritz-Haber Insitiut der Max-Planck-Gesellschaft
-
- 永井 康睦
- 日立電線(株)
-
- 浅野 清光
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 田中 智成
- (株)アルバック・コーポレートセンター
-
- 竹内 協子
- (株)アルバック・コーポレートセンター
-
- 辻 泰
- (株)アルバック・コーポレートセンター
-
- 斉藤 芳男
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 吉村 敏彦
- 株式会社日立製作所機械研究所
-
- 石川 雄一
- 株式会社日立製作所機械研究所
-
- 尾高 憲二
- 株式会社日立製作所機械研究所
-
- 上田 新次郎
- 株式会社日立製作所機械研究所
-
- 稲吉 さかえ
- 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
-
- 谷内 友希子
- 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
-
- 斎藤 一也
- 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
-
- 三沢 俊司
- 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
-
- 塚原 園子
- 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
-
- 佐藤 幸恵
- 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
-
- 湊 道夫
- 真空冶金株式会社
-
- 伊藤 好男
- 真空冶金株式会社
-
- 赤石 憲也
- 核融合科学研究所
-
- 江崎 和弘
- 核融合科学研究所
-
- 久保田 雄輔
- 核融合科学研究所
-
- 本島 修
- 核融合科学研究所
-
- 橋場 正男
- 北海道大学工学部
-
- 広畑 優子
- 北海道大学工学部
-
- 日野 友明
- 北海道大学工学部
-
- 山科 俊郎
- 北海道大学工学部
-
- 小出 明生
- 日立粉末冶金(株)化成品事業部
-
- 千代田 博宜
- 日立粉末冶金(株)化成品事業部
-
- 三角 明
- (株)日立製作所電子デバイス事業部
-
- 秋道 斉
- (株)アルバック・コーポレートセンター
-
- 高橋 直樹
- 日本真空技術株式会社技術開発部
-
- 荒川 一郎
- 学習院大学理学部
-
- 関根 重幸
- 電子技術総合研究所
-
- 国分 清秀
- 電子技術総合研究所
-
- 清水 肇
- 電子技術総合研究所
-
- IWASAKI Akira
- Electrotechnical Laboratory
-
- 平田 正紘
- 電子技術総合研究所
-
- 黒河内 智
- 理化学研究所
-
- 渡部 秀
- 理化学研究所
-
- 加藤 茂樹
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 堀越 源一
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 本田 広史
- 京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
- 田村 繁治
- 大阪工業技術研究所
-
- 大谷 和男
- 大阪工業技術研究所
-
- 上條 長生
- 大阪工業技術研究所
-
- 鈴木 芳生
- 日立製作所基礎研究所
-
- 木原 裕
- 関西医科大学教養部
-
- 中野 寛
- 龍谷大学理工学研究科
-
- 上條 栄治
- 龍谷大学理工学部
-
- 尾崎 立哉
- 防衛大学校電気工学科
-
- 井上 成美
- 防衛大学校電気工学科
-
- 戸嶋 成忠
- 防衛大学校電気工学科
-
- 柏原 茂
- 防衛大学校電気工学科
-
- 井口 征夫
- 川崎製鉄(株)技術研究所
-
- 鈴木 一弘
- 川崎製鉄(株)技術研究所
-
- 小林 康宏
- 川崎製鉄(株)技術研究所
-
- 大久保 治
- 日本真空技術(株)産業機器事業部
-
- 高橋 夏木
- 日本真空技術(株)産業機器事業部
-
- 関口 敦
- 日電アネルパ株式会社
-
- 戸部 了己
- 日電アネルパ株式会社
-
- 佐々木 雅夫
- 日電アネルパ株式会社
-
- 岡田 修
- 日電アネルパ株式会社
-
- 細川 直吉
- 日電アネルパ株式会社
-
- 斎藤 順雄
- 高松工業高等専門学校
-
- 後藤 智弘
- 静岡大学電子工学研究所
-
- 山口 十六夫
- 静岡大学電子工学研究所
-
- 仲秋 勇
- 静岡県工業技術センター
-
- 吉岡 捷爾
- 静岡大学電子工学研究所
-
- 中村 茂昭
- 静岡大学電子工学研究所
-
- 木内 正人
- 大阪工業技術研究所
-
- 村井 健介
- 大阪工業技術研究所
-
- 茶谷原 昭義
- 大阪工業技術研究所
-
- 角野 広平
- 大阪工業技術研究所
-
- 阪口 享
- 大阪工業技術研究所
-
- ENSINGER Wolfgang
- University of Augsburg
-
- 杢 哲次
- サンケン電気(株)研究所
-
- 朝原 康之
- サンケン電気(株)研究所
-
- 大塚 康二
- サンケン電気(株)研究所
-
- 大城 裕二
- 東京理科大学基礎工学部電子応用工学
-
- 蟹江 壽
- 東京理科大学基礎工学部電子応用工学
-
- 村上 寛
- 電子技術総合研究所
-
- 遠藤 和弘
- 電子技術総合研究所
-
- 吉田 貞史
- 電子技術総合研究所
-
- 工藤 勲
- 電子技術総合研究所
-
- 市川 洋
- 松下中央研究所
-
- 瀬恒 謙太郎
- 松下中央研究所
-
- 泉 順
- 群馬工業高等専門学校
-
- 大手 丈夫
- 群馬工業高等専門学校
-
- 加藤 正明
- 群馬工業高等専門学校
-
- 根岸 恒雄
- 群馬工業高等専門学校
-
- 大谷 杉郎
- 東海大学
-
- 小島 昭
- 群馬工業高等専門学校
-
- 西村 興男
- 北海道工業技術研究所
-
- 矢部 勝昌
- 北海道工業技術研究所
-
- 久保 和也
- 北海道大学工学部
-
- 相原 育貴
- 北海道大学工学部
-
- 原田 誠
- 北海道大学工学部
-
- 藤田 一郎
- 北海道大学工学部
-
- 種村 誠太
- 名古屋工業技術研究所
-
- 宮川 草児
- 名古屋工業技術研究所
-
- 丹羽 博昭
- 名古屋工業技術研究所
-
- 池山 雅美
- 名古屋工業技術研究所
-
- 中尾 節男
- 名古屋工業技術研究所
-
- 斎藤 和雄
- 名古屋工業技術研究所
-
- 宮川 佳子
- 名古屋工業技術研究所
-
- 塩川 善郎
- JRCAT(アトムテクノロジー研究体)-ATP
-
- 市川 昌和
- JRCAT(アトムテクノロジー研究体)-ATP
-
- 荒井 孝夫
- (株)アルバック・コーポレートセンター
-
- 岩佐 康史
- (株)東芝京浜事業所
-
- 伊藤 進
- (株)東芝京浜事業所
-
- 菊地 俊雄
- 日電アネルパ株式会社
-
- 柿原 和久
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 土佐 正弘
- 金属材料技術研究所
-
- 板倉 明子
- 金属材料技術研究所
-
- 笠原 章
- 金属材料技術研究所
-
- 荒井 雅嗣
- 株式会社日立製作所機械研究所
-
- 池田 省三
- 金属材料技術研究所
-
- 鈴木 豊
- 千葉工業大学
-
- 本間 禎一
- 千葉工業大学
-
- 池田 佳直
- 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
-
- 西浦 正満
- ダイゴールド株式会社
-
- 佐藤 勝
- ダイゴールド株式会社
-
- 大石 政治
- ダイゴールド株式会社
-
- 佐久間 泰
- ダイゴールド株式会社
-
- 道園 真一郎
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 福田 茂樹
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 穴見 昌三
- 高エネルギー物理学研究所
-
- 林 和孝
- 三菱電機通信機製作所
-
- 楠本 淑郎
- 日本真空技術株式会社技術開発部
-
- 劉 身健
- 日本真空技術株式会社技術開発部
-
- 村田 真朗
- 日本真空技術株式会社技術開発部
-
- 高橋 誠一
- 日本真空技術株式会社技術開発部
-
- 東 健司
- (株)村田製作所
-
- 吉野 幸夫
- (株)村田製作所
-
- 片山 祐三
- (株)村田製作所
-
- 伊ヶ崎 泰宏
- 静岡大学電子工学研究所
-
- 笹倉 幸一
- 静岡大学電子工学研究所
-
- 鈴木 晶雄
- 大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
- 松下 辰彦
- 大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
- 坂本 吉亮
- 大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
- 和田 直己
- 大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
- 奥田 昌宏
- 大阪府立大学工学部電子物理工学科
-
- 森井 浩
- 広島工業大学工学部電子工学科
-
- 峯岡 和博
- 広島工業大学工学部電子工学科
-
- 岡山 英夫
- 大阪工業大学
-
- 小西 永祥
- 大阪工業大学
-
- 久保 吏
- 大阪工業大学
-
- 長田 昭義
- 大阪工業大学
-
- 伊佐 弘
- 大阪工業大学
-
- 長谷川 秀雄
- 防衛大学校電気工学科
-
- 吉岡 捷爾
- 高松工業高等専門学校
-
- 辻村 瑛
- 徳島文理大学
書誌事項
- タイトル別名
-
- ダイ 36カイ シンクウ ニ カンスル レンゴウ コウエンカイ プロシーディン
この論文をさがす
説明
記事分類: 機械工学--流体機械
収録刊行物
-
- 真空
-
真空 38 (9), 765-836, 1995
一般社団法人 日本真空学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204068188032
-
- NII論文ID
- 130000871383
-
- NII書誌ID
- AN00119871
-
- ISSN
- 18809413
- 05598516
-
- NDL書誌ID
- 3625631
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDLサーチ
- Crossref
- CiNii Articles
