光分解型感光性樹脂

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タイトル別名
  • ヒカリ ブンカイガタ カンコウセイ ジュシ

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説明

一般に光分解型感光性樹脂と呼ばれているものには,ポリマーそのものに光分解型の官能基を結合させたものと,感光基を有しないポリマーに適当な光分解型の感光性物質(主に低分子化合物)を混合させて光化学変化を起こさせるものと,二つの型がある。そのどちらも工業的に印刷版の感光層や金属板表面の精密加工に用いられるフォトレジストとして利用されているが,本稿では主として前者の型のジアゾポリマー,アジドポリマー,イオウを含むポリマー,ニトロ基をもつポリマーなどについて記述した。

収録刊行物

  • 高分子

    高分子 19 (2), 120-127, 1970

    公益社団法人 高分子学会

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