Process Technology for Realization of Micromachine. LIGA Like Process Using SU-8 as Thick Photoresist.

DOI Web Site 2 Citations 5 References

Bibliographic Information

Other Title
  • マイクロマシンを実現する微細加工技術　　厚膜レジストＳＵ‐８によるＬＩＧＡライクプロセス
  • アツマク レジスト SU-8 ニ ヨル LIGA ライクプロセス

Search this article

Journal

Citations (2)*help

See more

References(5)*help

See more

Keywords

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top