薄膜技術の現状と展開‐これからの薄膜‐　薄膜と表面技術

DOI Web Site
  • 逢坂 哲彌
    早稲田大学理工学部; 各務記念材料技術研究所
  • 黒川 義昭
    早稲田大学理工学部; 各務記念材料技術研究所

書誌事項

タイトル別名
  • Thin Films and Their Surface Finishing.
  • ハクマク ト ヒョウメン ギジュツ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 45 (12), 1172-1178, 1994

    一般社団法人 表面技術協会

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ