表面技術におけるコンピュータシミュレーション 有限要素法による表面密着性解析

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タイトル別名
  • Computer Simulation of Surface Finishing Technology. Adhesion Analysis for Si Substrate/Ti Thin Films Interface.
  • ユウゲン ヨウソホウ ニヨル ヒョウメン ミッチャクセイ カイセキ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 48 (9), 895-899, 1997

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (9)*注記

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