微粒子の表面処理　スパッタリングによる微粒子の表面処理

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献14件

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タイトル別名
  • Surface Treatment of Fine Powder. New Surface Treatment of Powders by Sputtering.
  • スパッタリング ニヨル ビリュウシ ノ ヒョウメン ショリ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 47 (11), 900-904, 1996

    一般社団法人 表面技術協会

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