Plasmaless Dry Cleaning of CVD System with Fluorine-Containing Gases.
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- MOURI Isamu
- Chemical Res. Center, Central Glass Co., Ltd.
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- FUJII Tsukasa
- Chemical Res. Center, Central Glass Co., Ltd.
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- KOBAYASHI Yoshiyuki
- Technical Planning Section, Central Chemical Co., Ltd.
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- HAYAKAWA Seiji
- Fac. of Agriculture, Yamaguchi Univ.
Bibliographic Information
- Other Title
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- フッソ素系ガスによる薄膜堆積装置のクリーニング
- フッソケイ ガス ニヨル ハクマク タイセキ ソウチ ノ クリーニング
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Journal
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- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Journal of The Surface Finishing Society of Japan 47 (6), 493-497, 1996
The Surface Finishing Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204115818880
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- NII Article ID
- 10002256485
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL BIB ID
- 3976390
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
