酸性硫酸銅電解液から電析した銅膜の結晶配向性に及ぼすアセトニトリルの効果

DOI Web Site 被引用文献3件 参考文献63件

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タイトル別名
  • Effect of Acetonitrile on Crystal Orientation of Copper Film Electrodeposited from Acid Cupric Sulfate Electrolyte
  • サンセイ リュウサンドウ デンカイエキ カラ デンセキシタ ドウマク ノ ケッショウ ハイコウセイ ニ オヨボス アセトニトリル ノ コウカ

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抄録

Crystal orientations of copper film electrodeposited from the acid copper sulfate electrolyte in the presence of acetonitrile were investigated by X-ray diffraction pattern. It was found that the main crystal orientation of the electrodeposited copper film was the 111 plane and that the orientation varied depending on the acetonitrile concentration, the current density, the bath temperature and the cuprous ion concentration. It was considered that the preferred crystal orientation originated from selective adsorption of acetonitrile on the 111 plane.

収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 58 (8), 482-488, 2007

    一般社団法人 表面技術協会

被引用文献 (3)*注記

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参考文献 (63)*注記

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