超臨界流体と表面処理技術　　超臨界流体中での化学的薄膜堆積―なぜ被覆性・充填性に優れているのか―

DOI Web Site 被引用文献4件 参考文献43件

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タイトル別名
  • Chemical Deposition of Thin Films from Supercritical Fluids
  • 超臨界流体中での化学的薄膜堆積--なぜ被覆性・充填性に優れているのか
  • チョウリンカイ リュウタイ チュウ デ ノ カガクテキ ハクマク タイセキ ナゼ ヒフクセイ ジュウテンセイ ニ スグレテ イル ノ カ
  • ―なぜ被覆性・充填性に優れているのか―

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 61 (8), 566-570, 2010

    一般社団法人 表面技術協会

被引用文献 (4)*注記

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参考文献 (43)*注記

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