薄膜の密着性  SAICAS法による薄膜のはく離強度評価

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タイトル別名
  • Evaluating Adhesion of Thin Film with Surface and Interfacial Cutting Analysis System (SAICAS)
  • SAICAS法による薄膜のはく離強度評価
  • SAICASホウ ニ ヨル ハクマク ノ ハクリ キョウド ヒョウカ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 58 (5), 300-303, 2007

    一般社団法人 表面技術協会

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参考文献 (2)*注記

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