金属援用エッチングによるポーラスシリコンの形成と光学特性評価

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書誌事項

タイトル別名
  • Porous Silicon Produced by Metal-Assisted Etching
  • キンゾク エンヨウ エッチング ニ ヨル ポーラスシリコン ノ ケイセイ ト コウガク トクセイ ヒョウカ
  • - Structure Control and Optical Property -

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 67 (10), 533-537, 2016

    一般社団法人 表面技術協会

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