20　リソグラフィと放射線化学—レジストの放射線化学反応機構—

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タイトル別名
  • 20 Lithography and Radiation Chemistry—Radiation-induced Reaction Mechanisms of Resist Materials—
  • リソグラフィと放射線化学 : レジストの放射線化学反応機構
  • リソグラフィ ト ホウシャセン カガク : レジスト ノ ホウシャセン カガク ハンノウ キコウ

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説明

<p>半導体の大量生産のための放射線を用いたリソグラフィの歴史，リソグラフィへの放射線化学の貢献，リソグラフィの今後の発展に対する放射線化学への大きな期待を紹介する。</p>

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