ヘキサメチルジシラザン(HMDS)処理をした探針先端とSi基板表面間のファンデルワールス相互作用

書誌事項

タイトル別名
  • VanderWaalsInteractionbetweenSiSurfaceandMicroTipApexTreatedwithHexamethyldisilazane(HMDS)

説明

原子間力顕微鏡AFMの微細探針を用いて,探針と基板間の相互作用力(引力)の距離依存性を直接測定できる。探針先端にHMDS(hexamethyldisilazane)を用いた疎水化処理を行うことにより,ファンデルワールス相互作用および水素結合に起因した引力は減少し,かつ,近距離になった。以上の結果は,表面エネルギーの結果に相関があり,微小固体の付着および分散制御に有効である。

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被引用文献 (1)*注記

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