透明なアモルファス酸化物の半導体 : 物質設計と応用

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  • HOSONO Hideo
    東京工業大学フロンティア研究機構:東京工業大学応用セラミックス研究所

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Other Title
  • 透明なアモルファス酸化物の半導体 : 物質設計と応用(ヘッドライン:ガラスの創る新しい世界)
  • トウメイ ナ アモルファス サンカブツ ノ ハンドウタイ : ブッシツ セッケイ ト オウヨウ

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Abstract

半導体というと黒い単結晶のシリコンが一般的だが,ガラスのように透明なアモルファス酸化物でも優れた性能をもつ半導体が10年ほど前に発表された。そして,最近では新しいディスプレイの駆動用の薄膜トランジスタ(TFT)として実装が開始されるに至った。本稿では,その物質設計の考え方とTFTへの応用について,半導体とは何かという基礎から解説する。

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