極小径工具を用いた超音波研削によるガラスの微細穴加工

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  • Drilling of microholes in glass by ultrasonic grinding using ultrasmall-diameter tools
  • キョクショウケイ コウグ オ モチイタ チョウオンパ ケンサク ニ ヨル ガラス ノ ビサイ アナカコウ

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抄録

研削加工により，未だ報告例のない内径0.1mm未満の微細穴加工を試みた．研削工具として，放電加工により成形された超硬合金微細軸を使用した．これは，表面に形成された放電痕による凹凸が砥石における砥粒切れ刃に相当するので，研削加工を行うことが可能である．極小径工具は耐折損性が低いので，研削抵抗を低減するために工作物を超音波加振する超音波研削を試みた．さらに，工具が加工穴の軸周りに遊星運動を行うヘリカル送りも採用した．クラウンガラスに穴あけ加工を試みた結果，内径30μmの微細穴の加工に成功した．また，超音波加振による研削抵抗低減効果は確認されたが，ヘリカル送りの効果はとくにみられなかった．

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