Development of micro tool by ELID micro fabrication system (4TH report: Machining characteristic evaluation of miocro-tools)

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  • ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発
  • ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発(第4報)マイクロツールの切削特性評価
  • ELID マイクロ ファブリケーション システム ニ オケル マイクロ ツール ノ カイハツ ダイ4ホウ マイクロツール ノ セッサク トクセイ ヒョウカ
  • (4<sup>TH</sup> report : Machining characteristic evaluation of micro-tools)

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前報は, 微細加工において必要不可欠な微細工具の効率的な加工を実現させる目的で, 「マイクロ・ワーク・ショップ」という概念に基づいて考案した小型縦型円筒研削加工機 “神風” に, 旋回電極式ELID研削システムを用いて, 研削加工の最適化について検討を行った. 特に, 本加工システムを用いて, ピラミッド形状のマイクロツールの加工を行い, そのマイクロツールの表面性状および機械的強度の評価を行った. その結果, ナノメートルレベルの表面性状と機械的強度の間に相関関係があることがわかった. 本報では, マイクロツールを切削工具として使用することを目的として, 非鉄金属材, 鋼材などを対象に, 卓上型4軸加工機 “TRIDER-X” にマイクロツールを装着して基礎的な切削加工実験を行ったので報告する.

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