書誌事項
- タイトル別名
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- Optimum slurry supply method for cylindrical workpiece by multi-wire saw
- マルチワイヤソー オ モチイタ エンチュウ コウサクブツ ノ サイテキ スラリー キョウキュウ ホウホウ ニ カンスル ケンキュウ
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抄録
ICやLSIなどの半導体デバイス基板に用いられるシリコンウエハの製造において，スライシング加工は，後の工程における精度を左右する重要な工程である．現在，8インチ以上の大口径インゴットのスライシング加工には生産性や加工精度に優れる工作物降下型マルチワイヤソーが用いられている．しかし，本方式は加工部に直接スラリーを供給することが難しく，スラリー供給状態や最適な供給条件に関しては十分な解明がなされていない．そこで，本研究では工作物降下型マルチワイヤソーを用いた円柱工作物のスライシング加工における最適なスラリー供給方法について検討を行った．具体的には，円柱形状のパイレックスガラスを工作物に用い，スラリー供給方法を変化させた場合の加工部周辺におけるスラリー挙動及び加工溝内部において発生する諸現象の観察を行った．本報告では，観察によって明らかとなった加工溝内部に発生する現象と，その防止策について検討を行った結果を述べる．
収録刊行物
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- 砥粒加工学会誌
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砥粒加工学会誌 54 (12), 725-730, 2010
社団法人 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204334392832
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- NII論文ID
- 130004494516
- 10027459128
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 18807534
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 10921010
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可