<i>N,N</i>-ジエチルアミノシラン類のアンモノリシスによる高分子量ポリシラザンの合成

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タイトル別名
  • Syntheses of High Molecular Weight Polysilazanes by the Ammonolysis of <i>N,N</i>-Diethylaminosilanes
  • Syntheses and Properties of Plysilazanes as a Precursor for Silicon Netride. Part 3. Syntheses of High Molecular Weight Polysilazanes by the Ammonolysis of N, N-Diethylaminosilanes.

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クロロ(N,N-ジエチルアミノ)シランおよびビス(N,N-ジエチルアミノ)シランのアンモノリシスによりポリシラザンHPZ1およびHPZ2を合成した．HPZ1およびHPZ2は自己縮合に対する安定性が低く，分子量約1000，[H2Si(NH)]nを主骨格とするポリシラザンであった．HPZ1およびHPZ2は，希薄溶液あるいはクロロ(トリメチル)シランによりシリル化体とすることにより自己縮合が抑制され，テトラヒドロフランやエーテルなどの溶液として扱えた．一方，ポリシラザンの35 wt% (HPZ1)および45 wt% (HPZ2)THF溶液を20 °Cで放置すると，最高で重量平均分子量85000 (HPZ1)および45000 (HPZ2)のポリシラザンが生成することがわかった．

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