半導体分野のESD(静電気放電)に関わる諸問題(ESD(Electro Static Discharge)静電気放電)

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タイトル別名
  • Various Problems of ESD of Semiconductor Devices(ESD(Electro Static Discharge))
  • 半導体分野のESD(静電気放電)に関わる諸問題
  • ハンドウタイ ブンヤ ノ ESD(セイデンキ ホウデン)ニ カカワル ショ モンダイ

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抄録

LSIへの市場主ニーズは多機能化,高速化や低価格化である.これらニーズの実現には微細化設計技術の組込みが必須事項である.そこには定電界設計概念の定着でLSIの電源電圧の低下と「微細化設計⇒ESD(静電気放電)耐性の低下」の図式がある.ここでは微細化設計が如何にESD耐性低下に関与するか,またESD耐性低下を如何にくい止めるかの対策動向問題を中心に概説する.

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