Backside Emission Analysis Tools for LSI Diagnosis with InGaAs Detector (Special Survey Approach to LSI Quality Assurance)
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- KUKI Tony
- クリーデンス・システム株式会社
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- NAKAMURA Tomonori
- クリーデンス・システム株式会社
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- ITABASHI Hiroyuki
- クリーデンス・システム株式会社
Bibliographic Information
- Other Title
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- InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール (特集 LSI品質の保証のための提案)
- InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール
- InGaAs ディテクタ オ モチイタ LSI エミッション リメン カイセキ ツール
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Abstract
0.13μm以降の半導体デバイスの故障解析・早期検証において裏面からの解析が必須となってきている.エミッション裏面解析ツールEmiScope^[○!R]及びIREMは近い将来の45nmプロセスまで対応可能であり,裏面からのフォトンを高効率で収集することができる.
Journal
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- The Journal of Reliability Engineering Association of Japan
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The Journal of Reliability Engineering Association of Japan 26 (4), 303-308, 2004
Reliability Engineering Association of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204453771136
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- NII Article ID
- 110003994577
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- NII Book ID
- AN10540883
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- ISSN
- 24242543
- 09192697
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- NDL BIB ID
- 6985542
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed