書誌事項
- タイトル別名
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- Tunable Laser Using Silicon MEMS Mirror
- シリコン MEMS ミラー オ モチイタ ハチョウ カヘンメン ハッコウ レーザー
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抄録
In this paper, a tunable VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) fabricated by high precision bonding of a half VCSEL chip and a Si chip with a concave mirror on a movable membrane is presented. A tuning range of 55nm, a wavelength modulation over 500kHz, a peak power of 3.5mW and a side mode suppression ratio of about 60dB, and the structure and the fabrication process of the MEMS-VCSEL have been presented. Tunable lasers with wide tuning range and fast wavelength modulation with continuous wavelength sweep are suitable for optical measurement applications, such as optical fiber sensing, gas sensors, and OCT (Optical Coherence Tomography).
収録刊行物
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- 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 130 (5), 176-181, 2010
一般社団法人 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204460016128
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- NII論文ID
- 10026231131
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 10662473
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可