センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術

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タイトル別名
  • Fabrication Technologies of Inorganic Functional Thin Films for Sensors and Actuators
  • ゾルーゲルホウ ニヨル PTZ ハクマク ノ ゴウセイ ト ヒョウカ
  • I. Synthesis and Characterization of PZT Thin Films by Sol-Gel Method
  • I. ゾル-ゲル法によるPZT薄膜の合成と評価

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