多変量解析を用いたToF-SIMSスペクトル解釈

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タイトル別名
  • Extraction of Hidden Information of ToF-SIMS Data Using Different Multivariate Analysis
  • タヘンリョウ カイセキ オ モチイタ ToF-SIMS スペクトル カイシャク

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説明

飛行時間型2次イオン質量分析法(time of flight secondary ion mass spectrometry; ToF-SIMS)は，試料最表面の化学分析において最も強力な計測手法の1つである．しかし，得られるスペクトルには対象物質由来の分子イオンだけでなく，分子が分裂して生じたフラグメントイオン，基板や汚染に由来する2次イオンが多数含まれるため，結果の解釈には困難が伴う．近年，ToF-SIMSスペクトルデータの解析に多変量解析を用いる試みが広がりつつある．適切な多変量解析を行うことで，複雑なToF-SIMSスペクトルデータから有用な情報を抽出できる場合がある．本稿では，高分子多層膜断面のToF-SIMSデータへ多変量解析を適用した結果を中心に，スペクトルデータへの多変量解析の具体的な適用方法や，多変量解析によりどのような情報が得られるかについて解説する．

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