各種成膜法により作製したY_2O_3:Mn蛍光体薄膜のPL及びEL特性(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

  • 白井 徹也
    O.E.デバイスシステムR&Dセンター、金沢工業大学
  • 小林 洋平
    O.E.デバイスシステムR&Dセンター、金沢工業大学
  • 山崎 正志
    O.E.デバイスシステムR&Dセンター、金沢工業大学
  • 宮田 俊弘
    O.E.デバイスシステムR&Dセンター、金沢工業大学
  • 南 内嗣
    O.E.デバイスシステムR&Dセンター、金沢工業大学

書誌事項

タイトル別名
  • PL AND EL FROM Y_2O_3:Mn THIN FILMS PREPARED BY VARIOUS DEPOSITION METHODS
  • 各種成膜法により作製したY2O3:Mn蛍光体薄膜のPL及びEL特性
  • カクシュ セイマクホウ ニ ヨリ サクセイ シタ Y2O3 Mn ケイコウタイ ハクマク ノ PL オヨビ EL トクセイ

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抄録

ゾル・ゲル法、PLD法及び高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したY_2O_3:Mn薄膜EL素子のPLおよびEL特性について検討した。いずれの成膜法においても形成された膜の結晶構造が立方晶の場合は、PL及びELが得られなかった。一方、形成された膜の結晶構造が単斜晶を含む場合は、PL及びELにおいて高輝度黄色発光を実現できた。Y_2O_3:Mn薄膜EL素子では、その発光特性が母体の結晶構造に強く依存し、立方晶系の成長を抑えて単斜晶系に主として結晶化させた膜を作製することによって、高輝度発光を実現できることが分かった。

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参考文献 (24)*注記

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