高垂直磁気異方性Co-Cr-Pt薄膜媒体の作製

書誌事項

タイトル別名
  • Preparation of Co-Cr-Pt thin films with high perpendicular magnetic anisotropy
  • コウスイチョク ジキ イホウセイ Co Cr Pt ハクマク バイタイ ノ サクセイ

この論文をさがす

説明

5000 Oe以上の高い垂直抗磁力(Hc_⊥)と大きな角型比(SQ_⊥)、および反転磁区生成磁界(H_N)を有するCo-Cr-Ptスパッタ薄膜について、その作製条件、および下地層、中間層が磁気特性に及ぼす影響を検討した。その結果、製膜時のスパッタパワーを下げることにより、比較的低い基板加熱温度で5000 Oe以上の高いHc_⊥を得ることができた。さらに低いパワースパッタでは高いHc_⊥を維持したまま、磁性層厚、下地層厚を低減できることを見出した。また、極薄Cr中間層を導入することでも記録層の薄層化が達成できた。

収録刊行物

参考文献 (15)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ