ゲイン可変画素を用いたAPS-Cフォーマット14ビット出力CMOSイメージセンサ(固体撮像技術および一般)

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  • A 14bit, APS-C Size Digital CMOS Image Sensor with a Dynamic Response Pixel

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14bitの逐次比較型ADCと8-laneのSub-LVDS出力を持った、16M画素、APS-CフォーマットのCMOSイメージセンサを開発し、評価した。リングゲート型トランジスタを用いた4.78μmサイズのゲイン可変画素を用い、QE62%、感度49.5Ke^-/lux-s、60℃での暗電流17e^-/sを実現した。高感度モードにおける読み出しノイズは2.2e^-、縦筋は0.11e^-_<rms>であった。

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