書誌事項
- タイトル別名
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- Linear Photodiode Array Sensors Specialized for Absorption and Emission Spectroscopy with Fast Readout Speed and High Stability to UV Light Exposure
- ポスター講演 高速・高紫外光照射耐性を有する吸光・発光用リニアアレイセンサ
- ポスター コウエン コウソク ・ コウシガイコウ ショウシャ タイセイ オ ユウスル キュウコウ ・ ハッコウヨウ リニアアレイセンサ
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説明
高速読み出し動作と紫外光照射に対する高い感度安定性を持つ新規のフォトダイオード(PD)アレイセンサについて報告する.吸光分析向けの高飽和タイプ,発光分析向けの高感度タイプの2種類を設計,試作,評価した.両タイプともPDの長辺側に複数の読み出し口を設けることで従来型と比べ150倍以上の読み出し速度の向上を達成した.また,平坦なSi界面に急峻なドーパントプロファイルを有する薄いp^+層を形成することで,紫外光に対する光感度の安定性が向上した.
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 38.20 (0), 17-20, 2014
一般社団法人 映像情報メディア学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204529773184
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- NII論文ID
- 110009841726
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- NDL書誌ID
- 025736827
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
