全空乏化SOIピクセルを用いたロックインイメージセンサの設計と評価(高機能イメージセンシングとその応用)

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タイトル別名
  • Design and Evaluation of lock-in image sensors using full-depleted SOI Pixels
  • 全空乏化SOIピクセルを用いたロックインイメージセンサの設計と評価
  • ゼン クウボウカ SOI ピクセル オ モチイタ ロックインイメージセンサ ノ セッケイ ト ヒョウカ

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抄録

本研究では,近赤外光に高い感度を有する時間分解イメージセンサの実現の為に,全空乏化SOIピクセルを用いたロックイン画素を提案する.提案する画素構造ではセンサ部を全空乏化させることで,近赤外光に対して高い量子効率と高速な電荷収集・および電荷変調を可能とする.本稿では,提案する画素構造をシミュレーションにより検討し,実際に試作した素子の基礎的な評価の結果について報告する.

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