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- 西川 宏之
- 芝浦工業大学 工学部 電気工学科
書誌事項
- タイトル別名
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- Challenges in the Micromachining by Proton Beam Writing and its Applications
- シュウソク プロトン ビーム ビョウガ ニ ヨル ビサイ カコウ ト オウヨウ
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抄録
Proton beam writing (PBW) is a direct writing technique for the fabrication of micro- and submicron-scale structures with high-aspect ratio. The straight trajectory of MeV protons incident to target materials allows high-aspect-ratio micromachining with high throughput, when compared with a conventional direct writing process using low-energy electron beam. The principles and superior features of the PBW technique are illustrated by demonstrating the micromachining by PBW on various resists. Application of the high-aspect-pillar structures by PBW is also demonstrated for electro-micro filters using dielectrophoresis.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌. A
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電気学会論文誌. A 128 (7), 461-466, 2008
一般社団法人 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204593383424
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- NII論文ID
- 10021130125
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- NII書誌ID
- AN10136312
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- ISSN
- 13475533
- 03854205
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- NDL書誌ID
- 9564954
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可