Metalorganic vapor-phase ePitaxy of HgCdTe

DOI Web Site 15 References
  • YASUDA Kazuhito
    Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology

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Other Title
  • Hg Cd Teの有機金属気相成長
  • HgCdTe ノ ユウキ キンゾク キソウ セイチョウ

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Abstract

有機金属気相成長法によるHgCdTeの成長についてその成長特性を概説する.この材料の成長には原料として有機カドミウム,有機テルル,金属水銀が用いられている.しかしながら金属水銀を原料として使用するため成長装置はIII-V族半導体の成長装置とは異なった構成になるとともに,HgCdTeの成長特性もIII-V族半導体の場合には生じないような特異な性質;を示すようになる.ここではHgOdTe成長原料,成長特性,成長装置について問題点およびその改良の方法について述べる.

Journal

  • Oyo Buturi

    Oyo Buturi 64 (2), 141-144, 1995

    The Japan Society of Applied Physics

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