Technology for generation of ion and plasma stream and its application

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  • 大面積イオン・プラズマ流発生技術とその応用
  • ダイ メンセキ イオン プラズマリュウ ハッセイ ギジュツ ト ソノ オウヨウ

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Abstract

大型基板を対象とするイオン流発生技術の本格的な実用化が始まった.本稿では,液晶ディスプレイ 製造用の大口径高周波イオン源において,ボスフィンガスおよびジボランガスで生成したプラズマ中のイオン種生成について示す.また,ほかのイオン流発生技術についてその動向を示す.

Journal

  • Oyo Buturi

    Oyo Buturi 67 (6), 655-658, 1998

    The Japan Society of Applied Physics

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