選択成長をx利用した量子細線・量子箱の作製

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タイトル別名
  • Quantum wires and quantum dots fabricated by selective area MOCVD

抄録

有機金属気相成長法による選択成長を用いた新しい量子細線・量子ドット構造として,ファセット量子細線,ラテラル量子細線および四面体量子ドット構造を作製した.他の方法と比較した利点は,lOnm以下の半導体極微構造が,加工ひずみなしに得られることにある.

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 61 (2), 141-144, 1992

    公益社団法人 応用物理学会

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001204595736448
  • NII論文ID
    130003592991
  • DOI
    10.11470/oubutsu1932.61.141
  • COI
    1:CAS:528:DyaK38Xhs1aksr0%3D
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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