シリコン同位体単結晶の応用

伊藤 公平, 田久 賢一郎

doi:10.11470/oubutsu1932.70.1187

書誌事項

タイトル別名

Application of isotopically engineered silicon single crystals

説明

通常のSi結晶中には²⁸Si,²⁹Si,³⁰Siの3種類の質量および核スピン数が異なる安定同位体が存在し,それぞれの組成比は92.2%(²⁸Si),4.7%(²⁹Si),3.1%(³⁰Si)と常に一定である.この組成を変化させたSi結晶を作製することで,さまざまな物性の改質・制御が実現する.最近では同位体組成や分布を原子レベルで制御する結晶成長法も確立され,今後の半導体素子の発展に「半導体同位体工学」が大きく寄与することが期待される.<br>本稿では,半導体同位体工学に基づく高熱伝導Siウエハーの実現を紹介した後,将来のSi同位体工学の役割を議論する.

収録刊行物

応用物理

応用物理 70 (10), 1187-1190, 2001

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID: 1390001204596996992

NII論文ID: 130003594307

DOI: 10.11470/oubutsu1932.70.1187

COI: 1:CAS:528:DC%2BD3MXosVKktL4%3D

ISSN: 21882290; 03698009

データソース種別

JaLC
CiNii Articles

抄録ライセンスフラグ: 使用不可

書き出し

問題の指摘