RHEED励起X線全反射角分光 (TRAXS) 法による表面の研究

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タイトル別名
  • Surface Study by RHEED-TRAXS
  • RHEED レイキ Xセン ゼン ハンシャカク ブンコウ TRAXS ホウ ニ

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抄録

RHEEDの電子線の励起により表面より放射される特性X線を検出する際に, X線の取り出し角をX線の全反射の臨界角にして測定すると,表面原子の検出感度が著しく増大する現象が見いだされた.この現象を利用すると表面原子の検出感度がきわめて高くなるので,表面の元素分析法として有効であるばかりでなく,表面の原子配列構造に関する情報も得られる.さらに,数原子層以上の厚い膜の研究や物質の境界面の研究も行なうことができるので,この方法が大きく発展する可能性が生じている.

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 56 (7), 843-850, 1987

    公益社団法人 応用物理学会

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