書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Micro Optical Diffusion Sensor utilizing Laser-Induced Dielectrophoresis with Sputtered a-Si:H
- スパッタセイマク a-Si:H オ モチイタ レーザー ユウキ ユウデン エイドウ ニ ヨル ヒカリ MEMS カクサン センサー ノ カイハツ
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抄録
<p>本研究では微量な生体試料の拡散係数を高速に測定するMEMSデバイスを開発している.拡散現象を高速に検知するため,本測定法ではレーザー誘起誘電泳動を利用して前処理不要なマイクロスケール濃度分布形成を可能としている.レーザー誘起誘電泳動には励起光照射により導電率が上昇する光導電膜が必要であり,水素化アモルファスシリコンが用いられる.今回,反応性RFマグネトロンスパッタ法により光導電膜を種々の条件で成膜し,提案するデバイスへの適用性を評価した.評価結果に基づき測定デバイスを作製し,拡散現象を検知した.これにより,スパッタ成膜a-Si:Hを用いた光MEMS拡散センサーの妥当性が確認されたので報告する.</p>
収録刊行物
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- 熱物性
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熱物性 30 (2), 74-79, 2016
日本熱物性学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204665378560
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- NII論文ID
- 130005171627
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- NII書誌ID
- AN10064743
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- ISSN
- 1881414X
- 0913946X
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- NDL書誌ID
- 027434266
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可