仕上面粗さの微細校正

DOI Web Site
  • WHITEHOUSE D.J.
    Microengineering Centre, Engineering Department, University of Warwick (England)
  • BOWEN D.K.
    Microengineering Centre, Engineering Department, University of Warwick (England)
  • CHETWYND D.G.
    Microengineering Centre, Engineering Department, University of Warwick (England)
  • DAVIES S.T.
    Microengineering Centre, Engineering Department, University of Warwick (England)

書誌事項

タイトル別名
  • Micro calibration of surfaces.
  • シアゲメン アラサ ノ ビサイ コウセイ

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抄録

記事分類: 測定・測定器

収録刊行物

  • 精密機械

    精密機械 51 (9), 1663-1668, 1985

    公益社団法人 精密工学会

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