粗さ曲線のための位相補償ディジタルフィルタ適用に関する研究 (第2報)

書誌事項

タイトル別名
  • The Conditions to Apply the Phase Corrected Filter to Traced Profiles for Roughness Profiles (2nd Report)
  • 粗さ曲線のための位相補償ディジタルフィルタ適用に関する研究(第2報)--Δq導出のためのガウシアンローパスフィルタの適用条件
  • アラサ キョクセン ノ タメ ノ イソウ ホショウ ディジタル フィルタ テキ
  • Application of the Gaussian Low-pass Digital Filter to Derivation of Δ<SUB>q</SUB>
  • Δ<SUB>q</SUB>導出のためのガウシアンローパスフィルタの適用条件

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説明

This paper presents an optimum condition to obtain the root-mean-square slope of the profile Δq, and an application method of Gaussian low-pass digital filter to eliminate high-frequency noises. The main conclusions are as follows. (1) The range of convolution integral is 0.9 times cut-off wavelength λs and the space of data is λs/12. (2) It is appropriate that Δq is calculated by means of the seven-point method of numerical difference according to Lagrange's interpolation. (3) We make clear the effect of fluctuation of sampling interval on Δq. (4) The low-pass filter affects little the roughness parameters in the direction of profile height but largely those in the direction of profile length.

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 62 (7), 953-957, 1996

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (11)*注記

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