マイクロメカニズムにおけるしゅう動位置決め法の研究

  • 鈴木 哲也
    学生会員 中央大学大学院
  • 保坂 寛
    正会員 NTT入出力システム研究所 (現, 東京大学大学院工学系研究科)
  • 板生 清
    正会員 東京大学大学院工学系研究科

書誌事項

タイトル別名
  • Theoretical and Experimental Study on Precise Positioning of Sliding Micromechanisms.
  • マイクロメカニズム ニ オケル シュウドウ イチギメホウ ノ ケンキュウ

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抄録

This paper reports a method of positioning low-mass systems (micromechanisms) that slide on flat surfaces, such as that which occurs in optical fiber alignment and AFM scanning. First, a micromechanism is modeled by a one-degree-of-freedom system and its positioning error when it suddenly stops from a constant-velocity motion is analyzed. It is found that when the static frictional coefficient is large, stick-slip occurs and the positioning error increases. We propose an open-loop control method that decreases the positioning error, even under the stick-slip condition, The validity of the analysis and the effectiveness of the proposed method are verified by an experiment in which an optical fiber is positioned on a glass cylinder.

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 64 (2), 226-230, 1998

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (8)*注記

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