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- ISHIKAWA Kazumasa
- 株式会社東京精密半導体社
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- KOBAYASHI Kazuo
- 株式会社東京精密半導体社
Bibliographic Information
- Other Title
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- 半導体デバイスの裏面研削技術
- ハンドウタイ デバイス ノ リメン ケンサク ギジュツ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 73 (7), 764-767, 2007
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204795948416
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- NII Article ID
- 110006342938
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 8890474
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
