Nanostructure Fabrication by Nanoimprint Technology
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- HIRAI Yoshihiko
- 大阪府立大学大学院工学研究科
Bibliographic Information
- Other Title
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- メカニカルリソグラフィ ナノインプリンティング法によるナノ構造体の創成
- ナノインプリンティングホウ ニ ヨル ナノ コウゾウタイ ノ ソウセイ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 70 (10), 1223-1227, 2004
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204796071680
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- NII Article ID
- 10013653088
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
- http://id.crossref.org/issn/09120289
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- NDL BIB ID
- 7114008
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
