半導体力学量センサ

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タイトル別名
  • Semiconductor strain gauge and its applications.
  • ハンドウタイ リキガクリョウ センサ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 52 (4), 590-594, 1986

    公益社団法人 精密工学会

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