イオン照射と蒸着（ＩＶＤ）による立方晶系窒化ボロン膜

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タイトル別名
  • Formation of cubic boron nitride films by boron evaporation and nitrogen ion beam bombardment.
  • イオン ショウシャ ト ジョウチャク IVD ニ ヨル リッポウショウケイ チ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 53 (10), 1540-1543, 1987

    公益社団法人 精密工学会

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