有接点RF MEMSスイッチ実用化技術

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タイトル別名
  • Practical Application Technology of RF MEMS Contact Switch
  • ユウセッテン RF MEMS スイッチ ジツヨウカ ギジュツ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 76 (5), 498-501, 2010

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (1)*注記

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