X線マスクの製造と評価

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication and evaluation of X-ray masks.
  • Xセン マスク ノ セイゾウ ト ヒョウカ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 53 (11), 1672-1676, 1987

    公益社団法人 精密工学会

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